激光干涉仪是激光在计量领域中比较成功的应用之一。利用光的干涉实现测量,具有非接触、无损检测的特点,已经在各个不同领域得到普遍的应用。现代激光干涉技术是在人类关于光学的几乎全部知识的基础上发展起来的。激光与普通光源相比,具有一些独特的性质:单色性好、相干性好、方向性强、亮度高。激光干涉仪是以激光波长为已知长度,利用迈克尔逊干涉系统测量位移的通用长度测量,普遍应用于各领域,已经成为人类认知世界的重要工具。由于激光具有极好的时间相干性,自问世以来,已研制出多种激光干涉仪:单频激光干涉仪、激光干涉仪、半导体激光干涉仪、法布里-珀罗(f-p)干涉仪、x射线干涉仪等。激光干涉仪可以进行机床振动测试与分析。苏州精密激光干涉仪定制

激光具有高的强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪,主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。以激光波长为已知长度利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量.工具激光干涉仪有单频的和双频的两种。苏州精密激光干涉仪定制激光干涉仪使用注意事项:导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。

激光干涉仪引力波探测器要求激光束的横向剖面具有纯净的TEM00模式,即应该是基模厄米-高斯模式。因为高阶模式与干涉仪的不对称性相耦合,会使输出信号的对比度变差,而且高阶模式会使法布里-珀罗腔镜子表面光强分布改变,产生附加的热噪声。高阶模式的振幅是不稳定的,它会使镜子不同部位受到的辐射压力发生变化,产生附加的辐射压力噪声,严重时会使镜子抖动引起干涉仪锁定状态的不稳定。通过清模器可以清理高阶横向模式,清模器的主体部分是一个具有较高透射率的行波谐振腔,常采用由三面光学镜组成的锐三角形结构,其优点是清模效果好,光束抖动噪声小,能选择偏振形式,具有高的频率稳定性,没有光从清模器返回激光器。合理设计三面镜子的反射和透射系数并适当调节锐角上的镜子,使载频激光和两个旁频都能共振通过。
在激光干涉仪引力波探测器中要尽可能地使用高激光功率,使用功率循环技术。可以有效地做到这一点,其基本的想法是把从干涉仪亮出来的光重新收集起来,再注入干涉仪中,进行循环利用。因为激光干涉仪引力波探测器的工作点选择在暗纹条件,如果干涉仪内的光损耗很小,几乎所有的入射光功率都会经载频出,这是极大的浪费。在激光器和分光镜之间放上一面镜子,就能实现光能的回收。这面镜子称为功率循环镜,它把这部分漏出的光与从激光器来的新鲜光混合,一起注入到干涉仪内,则干涉仪内的有效功率将增加。对激光干涉仪要小心轻放,避免强烈的冲击震动。

当高压连接在阳极和阴极之间时,混合气体被激发,形成激光光束,通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中,为实现平衡状态,通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内,此时稳定输出后,激光器即可进行干涉测量。如今大多数现代位移干涉仪都使用氦氖(HeNe)激光管,这些激光管具有633纳米的波长输出。从激光头射出的激光光束①具有单一频率,标称波长为633nm,长期波长稳定性(真空中)优于0.05ppm。当此光束到达偏振分光镜时,被分成两束光——反射光束②和透射光束③。这两束光被传送到各自的角锥反射镜中,然后反射回分光镜中,在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束④。激光干涉仪有测速下分辨率高、测量范围大等优点。苏州精密激光干涉仪定制
激光干涉仪作为精密工具机或测量仪器的校正工作。苏州精密激光干涉仪定制
随着高精度数控机床行业的快速发展,激光干涉仪在机床行业的使用越来越普遍,然而其在使用过程中对激光光路的准直调整却一直是困扰广大激光干涉仪用户的一大问题,因为激光干涉仪在使用过程中光路准直调整占用了很大一部分时间。目前大多数生产企业的激光干涉仪操作人员的校准方法都是凭经验,来回反复调整,也有人提出“高处动尾部,低处动整体”的方法。其实后一种方法只是对前者的一种方法的经验总结,后一种方法是从整体上把握了调整的方向,可以让操作人员少走弯路,但并未提出一种定量的调整方法,所以在光路大体调整好后,还是靠经验感觉反复进行进一步精调,所以光路准直工作的效率还是亟待提高。苏州精密激光干涉仪定制