激光干涉仪;光的干涉:光具有波粒二象性。两列或几列光波在空间相遇时相互迭加,在某些区域始终加强,在另一些区域则始终削弱,形成稳定的强弱分布的现象。产生稳定干涉的条件:只有两列光波的频率相同,位相差恒定,振动方向一致的相干光源,才能产生光的稳定干涉。由两个普通独特光源发出的光,不可能具有相同的频率,更不可能存在固定的相差,因此,不能产生稳定干涉现象。若光的振幅相等:相位角相同时,复合光强为原先的2倍,产生明条纹。当相位角相差180º(半个波长)时,复合光强为0,产生暗条纹。激光干涉仪的应用:数控机床动态的性能检测。河南激光干涉仪哪个牌子好
双频激光干涉仪:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为只含有f1的光束,另一路成为只含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来只含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。河南激光干涉仪哪个牌子好激光干涉仪使用注意事项:仪器的光学零件在不用时,应在清洁干燥的器皿中进行存放,以防止发霉。
激光干涉仪的应用:数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不只节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。双轴定位精度的检测及其自动补偿。激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度,而且还能通过RS232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。
虽然激光干涉仪安装组件比较齐全,但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具:研制低高度云台支架。部分机床工作台高度与地面是基本相平的,那么测量Z轴时,如果使用激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地面,则肯定会因为三角架本身的高度,损失测量范围。磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具,选择时需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安装镜组安装杆,主磁性吸面位于底面和侧面的表座各选择两个(实验室或工厂多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在测量时,往往侧面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的安装。激光干涉仪具有有平面度测量组件、直线度测量组件、垂直度测量镜组、激光器准直辅助镜等等。
激光干涉仪发射单一频率光束,光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜,这两道光束再反射回到分光镜,比较后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时,激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时,这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。当高压连接在阳极和阴极之间时,混合气体被激发,形成激光光束,通过放大激光光强使一些光透射出来成为输出激光光束。其中,为实现平衡状态,通过加热器控制激光管长度让激光稳频的精度保持在±0.05ppm以内,此时稳定输出后,激光器即可进行干涉测量。如今大多数现代位移干涉仪都使用氦氖(HeNe)激光管,这些激光管具有633纳米的波长输出。激光干涉仪配有各种附件。河南激光干涉仪哪个牌子好
激光干涉仪具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。河南激光干涉仪哪个牌子好
激光干涉仪的维护:仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动时,应托住底座,以防导轨变形。2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。使用时,各调整部位用力要适当,不要强旋、硬扳。导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀,用毕后,仍保持不失油状态。河南激光干涉仪哪个牌子好