激光干涉仪辅助工具的选择:虽然激光干涉仪安装组件比较齐全,但在实际使用过程中还是需要另外配置一些辅助工具:①研制低高度云台支架;部分机床工作台高度与地面是基本相平的,那么测量Z轴时,如果使用激光干涉仪原装三角架及云台安放激光器于地面,则肯定会因为三角架本身的高度,损失测量范围。②选择磁性表座;磁性表座是激光干涉仪常用的辅助工具,选择时需要注意,表座工作面上需有螺孔以配合安装镜组安装杆,主磁性吸面位于底面和侧面的表座各选择两个(实验室或工厂多采用的是主磁性吸面位于底面的表座),在测量时,往往侧面吸的表座更利于激光干涉仪镜组的安装。激光干涉仪具有极高的精度和效率,为机床误差修正提供依据。广州科研开发激光干涉仪厂商
激光干涉仪以光波为载体,具有测量精度高、测量速度快、测量范围大、Zgao测速下分辨率高等特点,其光波波长可直接对米进行定义并溯源至国家标准。因此,激光干涉仪普遍应用于数控机床、PCB钻孔机、坐标测量机、位移传感器等精密仪器的质量控制与校准以及科研开发、设备制造等领域。激光干涉仪是以激光波长为长度计量基准的高精度测量仪器,随着双频激光干涉仪的出现,因其具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点,已成为高精密机械生产中校准及补偿的标准仪器,在机械制造、金属切削加工及航空航天等领域得到了普遍的应用。广州科研开发激光干涉仪厂商激光干涉仪可直接用于高精度、大 尺寸的动态位移测量系统。
激光干涉仪的使用方法:开机:接通电源打开电源开关,1分钟后开始检测。(因为刚开机激光器不稳定)。光路调整:旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点,显示器上显示完整的圆形图像。透镜面形检测:调节沉座到被检透镜的适合尺寸,(建议大批量固定透镜的检测,自己加工固定的沉座)放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合,观测显示器是否出现干涉条纹,条纹越少精度越高。其干涉图像与对准系统同步,无需切换,任何人都能简单操作。高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸,可简便的测量出曲率半径。
多功能激光干涉仪:主要适用于测量光脉冲、电脉冲以及磁脉冲的信号,如测量光强和电压随时间变化的波形。因为它的响应速度极快,是微微秒(Ps)量级。所以,它非常适用于超快变电场和超短光脉冲信号变化的测量。已有技术主要有两个方面。一是普通干涉仪,如一九八七年机械工业出版社出版的“剪切干涉仪及其应用”一书中描述的干涉仪,可用来做多样的测量工作,但它既不能像示波器一样示波显示电信号的波形,也不能示波显示光信号、磁信号的波形。虽然能示波显示电信号和光信号的波形,但不能示波显示其他如磁信号的波形等。而且,这些测量系统内不含有干涉系统。激光干涉仪要设置专库存放,环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。
双频激光干涉仪:在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应,激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为只含有f1的光束,另一路成为只含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来只含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。影响激光干涉仪测量精度的因素包括:反射镜、角锥棱角误差。广州科研开发激光干涉仪厂商
激光干涉仪,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度进行测量。广州科研开发激光干涉仪厂商
激光干涉仪:误差影响精确度:大气折射率。激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。余弦误差:在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。广州科研开发激光干涉仪厂商